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zoom RSS 【ULVAC】真空ポンプのオーバホール【VD301】

<<   作成日時 : 2019/02/14 01:43   >>

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やほー(๑´ㅂ`๑)〜♪
さくらだよ〜♪

!注意!
出所の分からない真空ポンプをばらす時は、
内部が毒物で汚染されていないか気をつけましょう!
└(՞ةڼ◔)」(°ω°)     Σ(ll゚艸゚ll)
半導体プロセスガスのなかにはかなりヤバめのモノが多くて
もしポンプオイルや内部が汚染されていて被曝したら
取り返しのつかないことになります。
毒、腐食系、廃液などの処理が手に負えない場合も同様です。
さくらとお約束ですっ(・ω<)☆


きょうは
真空業界ではド定番のロータリー真空ポンプを診ていくわね〜
またの名を油回転ポンプ。
仕組みはベーン式のモータが近いかな(*'∀'人)パターン逆だけど
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(そもそも真空ポンプって何だよ?
っていう人はGoogle先生に聞いてみようね。
とっても分かりやすい説明がドーン!)

ざっくり言っちゃうと〜(´▽`)
モータの力で空気を抜くマシーン。。。かな(*∩ω∩)
いわゆる掃除機の強烈なやつですよ。奥さん・・・!

用途は半導体などの真空設備から食品、医療、
エアコンの設置の時にも使うわね。


アルバックのVDと言えば昔からある息の長いシリーズ。
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最近のVDは色が違ってるけど同じもの・・なのかしらねぇ

ロータリポンプに
メカニカルブースターを装着して気合十分だよ〜
(今からばらすんだけどね)
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解体前のピラニ真空計の値は1.7x10^0か〜
(壊れている可能性があるから参考値)
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まずは・・・モータを降ろすわね・・・でも
冷却ファンが邪魔で穴から抜けない

ブラケットごと切り離そうと思ったら

こんどは平行ピンが打たれてて抜けないので
M4とM6のネジで冶具をつくって(灬╹ω╹灬)
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溶接で”ぴゃーぁ”っと
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スラハンでゴンゴンと
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なんとかモータとポンプを分離
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ゴムのスパイダによるフランジ継手ね

この不自然な腐食は一体・・・?
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ポンプ入り口の金網。
これだけゴミが引っかかってるってことは
中にもあるに違いないわね(*>_<*)ノ

フレームからポンプのブロックを切り離し
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重いわ・・・
このブロックだけで全重量の2/3はあるんじゃないかしら(´-ω-`)
(ばらさないとひとりで持ち上げることができない)


ボコボコのカバーは後で修正するとして
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フレームは吸入側配管の一部だったので
切り離したことによってポンプの内部が少しだけ見えるわ
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やっぱり茶色の固まりが見えるわね( ✧Д✧)
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今日は此処まで・・

倉庫さむいんだもん(。>﹏<。)


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